爱思强推出全新Micro LED量产设备

　　什么是代码编程AIXTRON SE首席执行官兼总裁Felix Grawert博士表示：“Micro LED将彻底改变显示器世界，因为它们具有更好的耐用性、更长的使用寿命、更好的图像质量和极低的能耗。然而，这项创新技术对生产过程提出了挑战，因为它需要最低的缺陷水平和最高的均匀率。我们全新的G10-AsP提供了业界首个全自动流程，为所有这一切提供了答案。新系统实现了同类产品中最高的吞吐量，具有前所未有的均匀性和缺陷水平。”

　　具有最严格材料要求且芯片尺寸≤10微米的Micro LED真正量产首次成为现实。此外，G10-AsP还满足大批量生产InP（磷化铟）激光器和VCSEL（垂直腔面发射激光器）的复杂要求。

　　新平台G10-AsP将于2023年2月1日在美国旧金山的Photonic West展会期间正式推出。在这次活动中，AIXTRON的专家将展示新系统：他们将解释新平台中包含的所有创新，以及它将如何提供同类产品中最高的吞吐量并最大限度地提高洁净室利用率。

　　新型全自动G10-AsP是投放市场的最大的200mm AsP间歇式反应器，配备原位清洁和自动卡匣式 (C2C) 晶圆传输技术。前端首次可以配备SMIF（标准机械接口）吊舱，以进一步减少外延晶圆在室内环境的暴露。借助内置的原位清洁功能，用户可以根据需要重新设置腔室条件——无论是在满足最苛刻要求的每个工艺运行之后，还是在受益于最高吞吐量的生产活动之后。该平台基于成功的Planetary Reactor（行星式反应器）®技术，这项技术将多晶圆间歇式反应器概念与单晶圆旋转相结合，以确保最高的晶圆均匀性。

　　Micro LED不仅将用于下一代电视显示器，还将用于未来的智能手表、智能手机、增强现实 (AR) 投影或汽车显示器。分析人士预计，该领域将在未来五到十年内成为LED最大的市场。

　　要使先进的Micro LED以及InP和VCSEL应用达到更高水平的一大挑战仍然是均匀性：必须在大批量生产过程中实现优化的片内均匀性和片间均匀性。新的G10-AsP为这些值设定了新标准，与前代产品相比性能提高了两到三倍。因此，该全自动平台将开启生产Micro LED和光子器件的新时代，克服以前阻碍大规模生产的主要障碍。

　　红外激光器和探测器等光子器件已在市场上得到广泛采用。在电信领域，它们为管理不断增长的数据量奠定了基础，而这些数据量与不断提高的带宽要求相关联。此外，它们还支持3D传感（例如用于面部识别）和用于自动驾驶的先进技术：随着这项技术的不断发展ASP编程，光束必须映射更大更广的区域。这需要更严格的波长公差，这转化为对外延层沉积非常严格的要求。新的G10-AsP可以通过提供外延工艺的显著精细控制来满足这一需求，提高材料精度，减少缺陷，从而提高产量和达到更好的均匀性。

　　在Micro LED的生产中，提高均匀性是经济可行的大规模生产的先决条件：Micro LED显示器依赖于特殊的印章或矩阵转移工艺，其中数千个尺寸仅为几微米的LED芯片（阵列）被拾取并转移。由于整个像素阵列都是从外延晶圆基板转移而来的，因此需要几乎完美的均匀性——可以料想，没人会买显示屏一角颜色与另一角不同的智能手表或智能手机。